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고분해능 전계방출형 주사전자현미경 High Resoltion Field Emission Scanning Electron Microscope

영문약어
FE-SEM
장비명(한글)
고분해능 전계방출형 주사전자현미경
기기코드
OL101
연구장비표준분류
기기상태
양호

부서 및 장비담당자

지역
대덕본원
주소
(34133) 대전광역시 유성구 과학로 169-148 한국기초과학지원연구원
보유센터 및 부서
대전본원 오픈랩운영팀
장비담당자
김정환
전화
042-865-3988
팩스
메일
jhkim1002@kbsi.re.kr

SPEC 및 활용분야

원리 및 특징
[해당장비는 대덕본원 스마트오픈랩에서 운영되고 있으며, 장비사용 안내는 http://openlab.kbsi.re.kr 의 ‘이용안내’를 참고하시기 바랍니다.] ■시료 표면의 미세한 구조를 확대하여 관찰하는기기로서, 시료 표면 형상을 보다 정밀하게관찰하는데 사용되는 분석기기
구성 및 성능
1)Resolution
- Accelerating voltage 15kV WD=4mm...1.0nm(220,000X)
- Accelerating voltage 1kV WD=1.5mm...2.0nm(120,000X)
2)Magnification
- ×30 - ×800,000
3)Electron optics
- Electron gun : Cold cathode field emission type
- Accelerating voltage : 0.5 to 30 kV
- Extracting Voltage : 0 to 6.5 kV
활용분야
1) 나노사이즈의 입자, 박막두께 분석
2) 나노 단위의 소재 미세구조해석
3) 금속, 세라믹, 고분자 표면분석
4) 철강 신소재 구조분석
5) 반도체의 결정립 구조분석
6) 생물시료의 특성 분석
7) 다층박막 두께 및 계면의 조성도 분석
8) 금속, 박막 등 파단면 분석
9) 정성, 정량분석

장비 공지사항

총게시물 : 1

장비공지사항
순번 제목 등록일 첨부
1 연구지원장비 성능공지(2018.07.31) 2018-08-08

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