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주사전자현미경 Scanning microscope

영문약어
SEM
장비명(한글)
주사전자현미경
기기코드
OL102
연구장비표준분류
기기상태
양호

부서 및 장비담당자

지역
대덕본원
주소
(34133) 대전광역시 유성구 과학로 169-148 (어은동) 한국기초과학지원연구원
보유센터 및 부서
대덕본원 오픈랩운영팀
장비담당자
김정환
전화
042-865-3988
팩스
메일
jhkim1002@kbsi.re.kr

SPEC 및 활용분야

원리 및 특징
[해당장비는 대덕본원 스마트오픈랩에서 운영되고 있으며, 장비사용 안내는 http://openlab.kbsi.re.kr 의 ‘이용안내’를 참고하시기 바랍니다.] SEM 구동 원리 는 상부에 위치한 E-GUN의 Filament로 부터 전자 빔이 방출 되어 각각의 components를 지나 시료에 전자 빔이 조사되고 시료에 조사된 전자 빔과 시료에서 반응 및 반사되어 나오는 각 전자를 검출기가 검출 하여 이미지로 만들어 냅니다.
구성 및 성능
- Resolution: 3 nm at 30kV
- Magnification: 13-1,000,000x in Resolution at 30kV
- Accelerating voltage: 200v to 30kV
- Electron Gun: Tungsten heated cathode
- Probe Current: 1 pA to 2 μA
- Chamber: Internal Diameter: 230mm
- Number of Ports: 11
- Door Width: 148 mm
- Specimen Stage:
Type: semi-compucentric
Movements: X = 40 mm – motorized (-20 mm to +20 mm)
Y = 40 mm – motorized (-10 mm to +30 mm)
Z = 47 mm – motorized
- Rotation: 360° continuous - motorized
- Tilt: manual: -75° to +50° from WD 15mm and for eucentric height of
the specimen
- Maximum specimen height: 60 mm
- Detectors: Standard: SE - ET type (YAG Crystal)
- Chamber vacuum: < 1x10-2 Pa
- Column vacuum: < 1x10-2 Pa
활용분야
1) 미세구조해석
2) 금속, 세라믹, 고분자 표면분석
3) 철강 신소재 구조분석
4) 반도체의 결정립 구조분석
5) 생물시료의 특성 분석
6) 다층박막 두께 및 계면의 조성도 분석
7) 금속, 박막 등 파단면 분석

장비 공지사항

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장비공지사항
순번 제목 등록일 첨부

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