메인 메뉴로 바로가기
본문으로 바로가기

다목적 X-선 회절분석기 Multi-Purpose X-ray Diffractometer

영문약어
XRD
장비명(한글)
다목적 X-선 회절분석기
기기코드
OL103
연구장비표준분류
기기상태
양호

부서 및 장비담당자

지역
대덕본원
주소
(34133) 대전광역시 유성구 과학로 169-148 한국기초과학지원연구원
보유센터 및 부서
대덕본원 오픈랩운영팀
장비담당자
김정환
전화
042-865-3988
팩스
메일
jhkim1002@kbsi.re.kr

SPEC 및 활용분야

원리 및 특징
[해당장비는 대덕본원 스마트오픈랩에서 운영되고 있으며, 장비사용 안내는 http://openlab.kbsi.re.kr 의 ‘이용안내’를 참고하시기 바랍니다.] ■XRD는 시료에 X선을 조사하여 발생하는 X선을 이용한 분석법으로 X선을 결정에 부딪히게 하면 그중 일부는 회절을 일으키고 그 회절각과 강도는 물질 구조상 고유한 것으로서 이 회절 X선을 이용하여 시료에 함유된 결정성 물질의 종류와 양에 관계되는 정보를 알 수 있음. 이와 같이 결정성 물질의 구조에 관한 정보를 얻기 위한 분석방법이 X선 회절법임.
구성 및 성능
X-선과 물질의 상호작용 중 회절, 반사 및 산란측정을 통해 다양한 응용분야에 활용되는 물질에 대한 결정구조분석을 Pre-Fix개념으로 최적화된 고성능 분석용 광학계로 구성.
- 초고속 회절분석을 통한 결정상 정성 정량 분석
- X-선 산란측정
- 고(중간) 분해능 분석용 광학계분석용 광학계로 구성.

1) Main System
- 3KW X-ray generator
- Special Ceramic LFF Cu X-ray tube
2) Optical Modules
- PreFix optics for line and point focus
- Focusing & parallel mirror
- Hybrid monochromator :
- PDS, PASS, PRS, Collimators for Thin Film
- TAD용 analyzer crystal : 3-bounce
3) Sample Stage
- 5-axis stage (X-Y-Z-Tilt-Phi)
- Reflection/Transmission stage
활용분야
1) 단. 다결정시료의 결정상 정성 정량 분석
2) 반사/ 투과 모드에 의한 초고속 회절분석
3) 고(중간) 분해능 및 단.다층 구조 박막 특성 분석
: Epitaxy의 mismatch, composition, thickness
: Super lattice 박막
: 역격자 공간 산란분포(RSM)측정
4) X-선 반사측정을 통한 박막의 두께, 밀도 및 표면/ 계면 거칠기 측정 및 해석
5) X-선 산란측정을 통한 Nano particle분포 분석
6) Focusing Mirror를 활용한 특성 분석 등

장비 공지사항

총게시물 : 0

장비공지사항
순번 제목 등록일 첨부

연관논문

페이지 맨 위로 이동